镀膜设备定制-肇庆高性价直流磁控濺射镀膜设备_厂家
所在地:广东省肇庆市
联系人:宋生
价格:面议
品牌:恒誉,,,,
发布时间:2024-12-23
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镀膜设备定制,肇庆高性价直流磁控濺射镀膜设备_厂家, 肇庆市高要区恒誉真空技术有限公司成立于2012-07-23,是一家机械和行业设备专用配件各类产品,其中直流磁控濺射镀膜设备为公司主导产品。凭借成熟的生产设备及可靠的经营管理模式,公司产品以有品质、高价值销售于全国;广东,深受中小企业的欢迎。
直流磁控濺射镀膜设备是恒誉真空重要推广的产品,也是销售形势较好的产品。恒誉真空采用批发;零售;的方式进行市场开拓。“顾客至上,改革求实,以人为本,团结进取”是我司践行的公司文化。如您参与我司业务合作,可采用银行转账的方式付款,我们还提供产品售出后质保一年的售后服务。
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平衡态磁控阴极内外磁钢的磁通量大致相等,两极磁力线闭合于靶面,很好地将电子/等离子体约束在靶面附近,增加碰撞几率,提高了离化效率,因而在较低的工作气压和电压下就能起辉并维持辉光放电,靶材利用率相对较高,但由于电子沿磁力线运动主要闭合于靶面,基片区域所受离子轰击较小.非平衡磁控溅射技术概念,即让磁控阴极外磁极磁通大于内磁极,两极磁力线在靶面不完全闭合,部分磁力线可沿靶的边缘延伸到基片区域,从而部分电子可以沿着磁力线扩展到基片,增加基片区域的等离子体密度和气体电离率.不管平衡非平衡,若磁铁静止,其磁场特性决定一般靶材利用率小于30%。为增大靶材利用率,可采用旋转磁场。但旋转磁场需要旋转机构,同时溅射速率要减小。
旋转磁场多用于大型或贵重靶。如半导体膜溅射。对于小型设备和一般工业设备,多用磁场静止靶源。用磁控靶源溅射金属和合金很容易,点火和溅射很方便。这是因为靶(阴极),等离子体,和被溅零件/真空腔体可形成回路。但若溅射绝缘体如陶瓷则回路断了。于是人们采用高频电源,回路中加入很强的电容。这样在绝缘回路中靶材成了一个电容。但高频磁控溅射电源昂贵,溅射速率很小,同时接地技术很复杂,因而难大规模采用。为解决此问题,发明了磁控反应溅射。就是用金属靶,加入氩气和反应气体如氮气或氧气。当金属靶材撞向零件时由于能量转化,与反应气体化合生成氮化物或氧化物。磁控反应溅射绝缘体看似容易,而实际操作困难。
主要问题是反应不光发生在零件表面,也发生在阳极,真空腔体表面,以及靶源表面。从而引起灭火,靶源和工件表面起弧等。德国莱宝发明的孪生靶源技术,很好的解决了这个问题。其原理是一对靶源互相为阴阳极,从而消除阳极表面氧化或氮化。冷却是源(磁控,多弧,离子)所必需,因为能量很大一部分转为热量,若无冷却或冷却不足,这种热量将使靶源温度达一千度以上从而溶化整个靶源。
正视挑战,增强信心,创造辉煌。在成功取代传统制造工业的同时,满足了现代生产效率,高稳定性和可靠性的精微加工的要求。恒誉真空俨然成为一家成熟的直流磁控濺射镀膜设备生产企业,供应的直流磁控濺射镀膜设备受到广大中小企业的一致好评,产品在通过磁控溅射的方法能在工件表面镀制各种金属,或其化合物膜层,以达到改变其光电磁性能或起到装饰性功效拥有良好的表现。
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